Cathodic arc synthesis of Ti-Si-C-N thin films - plasma analysis and microstructure formation
- Författare
- Linköpings universitet Anders Eriksson
- (Anders Eriksson., Diss. (sammanfattning) Linköping : Linköpings universitet, 2013., Med populärvetenskaplig sammanfattning på svenska.)
- Genre
- Avhandlingar, theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Department of Physics, Chemistry and Biology (IFM), Linköping University | 2012 | Sverige, Linköping | xvi,151 sidor illustrationer | 978-91-7519-714-2 |